真空泵按工作原理分氣體輸送泵變容真空泵 往復式 旋片式油封式 旋片式 滑閥式定片式余擺線式多室旋片式幹式螺桿 液環式 羅茨真空泵 動量傳輸泵分子真空泵牽引分子泵 渦輪分子泵 復合分子泵 噴射真空泵液體噴射真空泵 氣體噴射真空泵 蒸汽噴射真空泵 擴散泵自凈化擴散泵 分餾式擴散泵 擴散噴射泵 離子輸運泵 氣體捕集泵吸附泵 吸氣劑泵 吸氣劑離子泵蒸發離子泵 濺射離子泵 低溫泵 按真空度分粗真空度 高真空度滑閥式真空泵 旋片式真空泵 羅茨真空泵 超高真空度 氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是壹種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：
變容真空泵
利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的壹種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：
（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮並排出。因此，又稱為活塞式真空泵。
（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮並排出。旋轉真空泵又有如下幾種形式：
① 油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的壹種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種形式。
a旋片式真空泵：轉子以壹定的偏心距裝在泵殼內並與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子壹起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。
b.滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有壹個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。
c.定片式真空泵：在泵殼內裝有壹個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有壹個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。
d.余擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有壹個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動並將泵腔分成兩個可變容積。
e.多室旋片式真空泵：在壹個泵殼內並聯裝有由同壹個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
②幹式螺桿真空泵：它是壹種不用油類（或液體）密封的變容真空泵。
③液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環液，環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。
④羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持壹定的間隙。它屬於旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
（1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的壹種真空泵。它有如下幾種型式：
① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是壹種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。
③ 復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的壹種復合式分子真空泵。
（2） 噴射真空泵：它是利用文丘裏（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的壹種動量傳輸泵，適於在粘滯留和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：
① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。
② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。
③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質的餓噴射真空泵
（3） 擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適於在分子流狀態下工作。可分為：
① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的壹種油擴散泵
② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是壹種多級油擴散泵。
（4） 擴散噴射泵：它是壹種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的壹種動量傳輸泵。油增壓泵即屬於這種形式。
（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的壹種動量傳輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是壹種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的壹種捕集式真空泵
吸氣劑泵：它是壹種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沈積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬於這種形式。
吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
（1）蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的壹種真空泵。
（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的壹種真空泵。
低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵
按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。
粗真空系
主要用來抽除空氣和其它有壹定腐蝕性、不溶於水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用於食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、幹燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。
主要用於粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶於水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用於機械、制藥、食品、石油化工等行業中。
是獲得粗真空的主要真空設備之壹。廣泛應用於化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、幹燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。
無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由於采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了先進的無油潤滑。由於無汙水排放，所以該型真空泵特別適用於化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空幹燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應用於真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空幹燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中。
滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高壹點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之壹。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用於冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空幹燥等工藝過程中。
旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用於作擴散泵的前級泵，而且更適用於精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍幹燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是壹種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力範圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用於冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用於真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。